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四甲基氫氧化銨
CAS No.: 75-59-2
分子式: C4H13NO
分子量: 91.15
備注: 中文名稱四甲基氫氧化銨中文同義詞四甲基氫氧化銨,25%W/WAQ.SOLN.;氫氧化四甲銨;四甲基氫氧化銨;四甲基氫氧化銨(約25%的水溶液);四甲基氫氧化銨(10%的甲醇溶液);四甲基氫氧化銨(10%的水溶液);四甲基氫氧化銨(10%的甲醇溶液)[用于光刻膠研究];氫氧化四甲基胺,2.38%W/WAQ.SOLN.,ELECTRONICGRADE,99.英文名稱Tetramethylammoniumhydroxide英文同義詞N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUMHYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUMHYDROXIDE;TMAH;Tetramethylammoniumhydroxide,25%soln.inmethanol;Tetramethylammoniumhydroxide,25%w/wAqueousSolution,99.5%(metalsbasis);TETRAMETHYLAMMONIUMHYDROXIDEOL;Tetramethylammoniumhydroxide,10%inwater;Tetramethylammoniumhydroxide,25wt%inmethanolCAS號(hào)75-59-2分子式C4H13NO分子量91.15EINECS號(hào)200-882-9相關(guān)類別化學(xué)試劑;有機(jī)化學(xué);有機(jī)堿;顯影液;季銨堿系列;生化試劑;其他生化試劑;催化劑;季銨堿;離子對(duì)試劑;季銨鹽;季胺堿系列;quarternaryammoniumbases;AmmoniumHydroxides(Quaternary);QuaternaryAmmoniumCompounds;AnalyticalChemistry;Esterification&Alkylation(GCDerivatizingReagents);GCDerivatizingReagents;OniumHydroxides(GCDerivatizingReagents);AtomicAbsorptionSpectroscopy(AAS);DigestionReagents;PureReagentsforWetDigestion(TraceSELECT);AnionicHPLC;ReferenceMaterialPerchloricacidTitration;BaseSolutionsVolumetricSolutions;OrganicBasesEssentialChemicals;ReagentGrade;有機(jī)化工原料;有機(jī)化工原料;極譜分析試劑;離子液體;精細(xì)化工原料;化工原料;化學(xué)試劑-分析試劑;無(wú)機(jī)化工原料;化工;ACSGradeChemicalSynthesis;EssentialChemicals;OrganicBases;RoutineReagents;SyntheticReagents;ElectronicChemicals;Micro/Nanoelectronics;SemiconductorGradeChemicals;ReferenceMaterialHydrochloricacidTitration;ByReferenceMaterial;Solutionsfornon-aqueoustitrations;VolumetricSolutions;ChemicalSynthesis;BaseConcentratesConcentrates(e.g.FIXANAL);Concentrates(e.g.FIXANAL);ReferenceMaterialHydrochloricacid;Titration;Chromatography/CEReagents;IonPair;IonPairReagents;IonPairReagents-AnionicConcentrateMol文件75-59-2.mol結(jié)構(gòu)式四甲基氫氧化銨性質(zhì)熔點(diǎn)°CChemicalbook沸點(diǎn)110°C密度0.866g/mLat25°C蒸氣壓17.5mmHg(20°C)折射率n20/D1.384閃點(diǎn)80°F儲(chǔ)存條件Storebelow+30°C.溶解度可溶于甲醇(少量)、水(少量)形態(tài)溶液在儲(chǔ)存期間顏色可能會(huì)變暗顏色APHA:≤10氣味(Odor)強(qiáng)烈的氨樣氣味PH值>13(H2O,20°C)水溶解性Solubleinwater.敏感性AirSensitiveMerck14,9224BRN3558708穩(wěn)定性穩(wěn)定的。易燃。與強(qiáng)氧化劑、強(qiáng)酸不相容。InChIKeyWGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-MCAS數(shù)據(jù)庫(kù)75-59-2(CASDataBaseReference)EPA化學(xué)物質(zhì)信息Tetramethylammoniumhydroxide(75-59-2)四甲基氫氧化銨用途與合成方法產(chǎn)品描述四甲基氫氧化銨(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又稱為氫氧化四甲銨、四甲基氫氧化胺,無(wú)色至淡黃色液體,是最強(qiáng)的有機(jī)堿,極易吸潮,有一定的氨氣味,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,在室溫下其蒸汽壓較低,在135~145℃完全分解氣化,高純品在140℃低溫處理也無(wú)微量殘?jiān)?。四甲基氫氧化銨溶液無(wú)色透明有微氨臭,1(wt)%溶液PH值為12.9,是與苛性堿同等強(qiáng)度的強(qiáng)堿。將四甲基氫氧化銨水溶液在減壓下濃縮可得到5個(gè)結(jié)晶水的吸濕性針狀結(jié)晶,再繼續(xù)濃縮脫水變成3個(gè)結(jié)晶水的結(jié)晶,再變成1個(gè)結(jié)晶水的四甲基氫氧化銨,在135~140°C分解為三甲胺和二甲基醚,通常制10%、25%的水溶液。制備工藝四甲基氫氧化銨的制備方法很多,一般采用氧化銀法,通過(guò)四甲基氯化銨與氧化銀反應(yīng)生成。但該法制備四甲基氫氧化銨的工藝復(fù)雜,原料氧化銀價(jià)格昂貴,而且所得產(chǎn)品含較高的雜質(zhì)離子,如鹵素離子、堿金屬離子等,用于有機(jī)硅單體催化聚合時(shí),嚴(yán)重影響有機(jī)硅產(chǎn)品特性,更無(wú)法滿足電子領(lǐng)域清洗和腐蝕的要求。國(guó)外從七十年代開(kāi)始采用電解法制備四甲基氫氧化銨的新工藝,并逐步取代氧化銀法。用電解法制得的產(chǎn)品質(zhì)量較好,成本低,不僅能滿足有機(jī)硅生產(chǎn)的需要,而且進(jìn)入了電子工業(yè)領(lǐng)域。用途1.在有機(jī)硅方面,四甲基氫氧化銨作為二甲基硅油,氨基硅油,苯甲基硅油,有機(jī)硅擴(kuò)散泵油,無(wú)溶劑有硅模塑料,有機(jī)硅樹(shù)脂,硅橡膠等的催化劑;2.在分析方面,四甲基氫氧化銨作為極譜試劑;3.在產(chǎn)品提純方面作為無(wú)灰堿用以沉淀許多金屬元素;4.在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作計(jì)算機(jī)硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。5.在電路板的印刷和顯微鏡片的制造中,可作為集成電路板的清洗劑和半導(dǎo)體微加工技術(shù)中si-sio2界面的各向異性腐蝕劑。6.用作CMP過(guò)程清洗劑,IC.vlsi及TFI-LCD正膠顯影劑。用途在有機(jī)硅方面,作為二甲基硅油,苯甲基硅油,有機(jī)硅擴(kuò)散泵油,無(wú)溶劑有硅模塑料,有機(jī)硅樹(shù)脂硅橡膠等的催化劑。在分析方面,作為極譜試劑,在產(chǎn)品提純方面作為無(wú)灰堿用以沉淀許多金屬元素,在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作計(jì)算機(jī)硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。本產(chǎn)為有機(jī)硅聚合中的催化劑。其優(yōu)點(diǎn)是:它具有強(qiáng)堿性,在不超過(guò)分解點(diǎn)的溫度下穩(wěn)定。超過(guò)分解點(diǎn)時(shí)迅速分解為三甲胺和甲醇。當(dāng)催化完畢后很容易除掉,不留任何殘?jiān)?duì)有機(jī)硅產(chǎn)品無(wú)污染。因此又稱為“暫時(shí)催化劑”。在分析中可用于極譜試及用來(lái)沉淀不含灰份的許多元素的氫化物。用途氨基硅油、201甲基硅油、硅橡膠等有機(jī)硅類產(chǎn)品聚合中的催化劑。當(dāng)水溶液使用時(shí),可用作合成RT培司催化劑,亦可用于聚酯類聚合物、紡織、皮革、木材加工、電子、電鍍等行業(yè),也是極譜實(shí)驗(yàn)支持液用途在電子行業(yè)中,廣泛用作硅晶片蝕刻劑、清洗劑、正膠顯影劑等用途用作計(jì)算機(jī)硅片面的光亮劑、觸刻劑等用途用作極譜分析試劑類別腐蝕物品毒性分級(jí)劇毒急性毒性皮下-小鼠LDL0:19毫克/公斤爆炸物危險(xiǎn)特性對(duì)皮膚,角膜有腐蝕性可燃性危險(xiǎn)特性蒸氣有毒;燃燒排放有毒氮氧化物和氨氣煙霧儲(chǔ)運(yùn)特性庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥;與酸類分開(kāi)存放。滅火劑霧狀水、泡沫、砂土
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