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六氟乙烷 |
| CAS No.: |
76-16-4 |
| 分子式： |
C2F6 |
| 分子量： |
138.01 |
| 備注： |
中文名稱六氟乙烷中文同義詞R116全氟乙烷;全氟乙烷;六氟乙烷;六氟乙烷R116;六氟乙烷/C2F6/R116英文名稱Hexafluoroethane英文同義詞freon116;Hexafluorethan;hexafluoro-ethan;Perfluorocarbon116;PFC116;R116;r116;R-116CAS號(hào)76-16-4分子式C2F6分子量138.01EINECS號(hào)200-939-8相關(guān)類別特殊氣體(SpecialtyGases);電子化學(xué)品;refrigerants;OrganicsMol文件76-16-4.mol結(jié)構(gòu)式六氟乙烷性質(zhì)熔點(diǎn)?100°C(lit.)沸點(diǎn)?78°C(lit.)密度1,607g/cm3蒸氣密度4.7(vsair)蒸氣壓430psi(21°C)折射率1.2060InChIKeyWMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-NCAS數(shù)據(jù)庫76-16-4(CASDataBaseReference)EPA化學(xué)物質(zhì)信息Hexafluoroethane(76-16-4)六氟乙烷用途與合成方法簡(jiǎn)介六氟乙烷在微電子工業(yè)中用于等離子蝕刻及表面清洗。六氟乙烷一直是KantoDenak公司和另兩家日本公司的樣品。KantoDenkaKogyo公司計(jì)劃在下一財(cái)政年度大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)六氟乙烷，該產(chǎn)品作為下一代清潔氣體用于高集程度的半導(dǎo)體生產(chǎn)。六氟乙烷作為半導(dǎo)體氧化膜的超細(xì)清潔氣體正日益引起人們的關(guān)注，并在2001開始用于生產(chǎn)。就是先使用的八氟丁烷作為蝕刻劑而言，當(dāng)接觸到孔徑為140納米或更小的元件時(shí)八氟丁烷無法起到蝕刻作用。應(yīng)用六氟乙烷ODP值(臭氧層破Chemicalbook壞潛能值)為零，GWP值(溫室效應(yīng)能力)為9200.主要應(yīng)用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業(yè)，另外少部分應(yīng)用在醫(yī)學(xué)手術(shù)中及其它新開發(fā)的領(lǐng)域。制備氟氣或氮?dú)夂头鷼獾幕旌蠚怏w、四氟乙烯從不同的進(jìn)料口進(jìn)入溫度為l0-60℃、壓力為0.1～0.15MPa的反應(yīng)器中，控制氣體在反應(yīng)器中的空速為0.2-10min，進(jìn)行反應(yīng)，得到的部分反應(yīng)產(chǎn)物在反應(yīng)器出口端通過反應(yīng)器外接循環(huán)設(shè)備離心風(fēng)機(jī)循環(huán)返回反應(yīng)器進(jìn)口端，與通過進(jìn)料口進(jìn)來的氟氣或氮?dú)夂头鷼獾幕旌蠚怏w以及四氟乙烯混合后進(jìn)入反應(yīng)器，循環(huán)反應(yīng)；得到的另一部分反應(yīng)產(chǎn)物直接從出料口出來，得到所述六氟乙烷。該發(fā)明所述方法工藝簡(jiǎn)單、反應(yīng)條件溫和、反應(yīng)器價(jià)格便宜；所制備的六氟乙烷含量高、雜質(zhì)含量低、收率高?；瘜W(xué)性質(zhì)六氟乙烷化學(xué)式C2F6，純度>99.7%，為無色、無臭、無味、不可燃的惰性氣體。微溶于水，熔點(diǎn)-100.6℃，沸點(diǎn)-78℃，液體密度1.60g/ml。應(yīng)用六氟乙烷ODP值(臭氧層破壞潛能值)為零，GWP值(溫室效應(yīng)能力)為9200.主要應(yīng)用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業(yè)，另外少部分應(yīng)用在醫(yī)學(xué)手術(shù)中及其它新開發(fā)的領(lǐng)域。生產(chǎn)方法以活性炭與氟為原料，在裝有活性炭的反應(yīng)爐中緩慢通入高濃氟氣，通過控制電加熱，供氟速率和冷卻反應(yīng)爐來控制反應(yīng)溫度。反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除塵、堿洗、脫水后，可獲得含ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８的粗品，然后把粗品混合物進(jìn)行間歇低溫精餾，提?。茫玻疲叮儆梅肿雍Y進(jìn)一步進(jìn)行低溫吸附脫水，可獲得純度大于99.7%的Ｃ２Ｆ６。類別壓縮氣體和液化氣體毒性分級(jí)低毒急性毒性吸入-大鼠LC:20000PPM/2小時(shí)儲(chǔ)運(yùn)特性庫房通風(fēng)低溫干燥;與易燃物分開存放滅火劑水 |
| 結(jié)構(gòu)式： |
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聯(lián)系人： |
金經(jīng)理 |
地 址： |
湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)光谷大道03號(hào) |
郵 編： |
430000 |
電 話： |
18995560451 |
手 機(jī)： |
15102708508 |
傳 真： |
18995560451 |
Q Q： |
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網(wǎng) 址： |
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