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《重磅發(fā)布|惠然科技攜首臺國產(chǎn)拉曼集成電鏡F6000-RS”亮相北京電鏡年會》
2023-12-19
  摘要:2023年12月17日,2023 年度北京市電子顯微學年會于北京四川五糧液龍爪樹賓館盛大召開,惠然科技攜首臺國產(chǎn)拉曼集成掃描電子顯微鏡F6000-RS首次亮相展會,惠然科技副總工程師楊潤瀟先生發(fā)表《風雅頌之“風”F6000-RS首臺國產(chǎn)拉曼集成掃描電子顯微鏡》主題演講。
  關鍵詞:國產(chǎn)首臺;電鏡拉曼聯(lián)用;高集成與自動化;高空間分辨率;靈活配置方案

▲發(fā)布現(xiàn)場

  01 電鏡拉曼聯(lián)用F6000-RS發(fā)布
  惠然F6000-RS是一款基于FE-SEM F6000場發(fā)射掃描電鏡推出的拉曼集成一體化設備。F6000-RS在FE-SEM整機“風”系列F6000大視野、高速、高精度成像的基礎上,集成高空間分辨率拉曼共聚焦光路,彌補了能譜儀、波譜儀等傳統(tǒng)電鏡附件無法實現(xiàn)的分子結構與成分觀察,針對碳基復合材料、無機鹽、氧化物、有機物等材料有無可比擬的組分分析優(yōu)勢。F6000-RS通過耦合拉曼共聚焦光路進入真空樣品倉,實現(xiàn)了樣品在電子束和激光束之間的快速切換;SEM “風”F6000擁有6 mm無畸變視野及1 nm的分辨率,結合共聚焦Raman 2.5mm掃描范圍及500nm橫向1500nm縱向分辨率,是一個優(yōu)秀的樣品微觀形貌觀測與分子組分分析平臺,,實現(xiàn)從宏觀到介觀到微觀的絕佳SEM成像與光譜分析使用體驗,助力科研工作者進行深度的科學研究。

▲F6000-RS產(chǎn)品圖

  惠然F6000-RS具有三大核心技術優(yōu)勢:
  ● 高集成&自動化
  快速雙光軸一鍵切換,搭載高精度復合位移臺可實現(xiàn)樣品在拉曼光束和電子束之間的快讀、精確、穩(wěn)定的切換,拉曼掃描范圍達2.5mm。
  ● 高空間分辨率
  針孔共聚焦分辨率可達500nm。
  ● 靈活配置方案
  拉曼光譜集成方案提供了多種配置供用戶選擇,例如光譜儀、激光源、物鏡等均可定制,滿足應用及市場多樣化需求。
表1 拉曼光譜指標


  此次惠然重磅推出的F6000-RS,是中國第一臺真正意義上實現(xiàn)拉曼光譜與掃描電鏡聯(lián)用的設備,電鏡與拉曼均為國產(chǎn)正向自主研發(fā),除此之外,還配備惠然科技自主研發(fā)的電鏡平臺操作系統(tǒng),可通過軟件程序實現(xiàn)F6000-RS拉曼渲染結果的像素與光譜數(shù)據(jù)對應關系的直接提取,提供便捷的結果解析。

  演講結束后,副總工程師楊潤瀟先生邀請現(xiàn)場專家學者蒞臨惠然展臺或親臨企業(yè)對惠然的產(chǎn)品研發(fā)進行指導,他表示,各位專家學者對惠然產(chǎn)品研發(fā)提出的意見建議能夠使惠然更加貼近客戶需求,作為國內正向自主研發(fā)的電鏡制造商,我們有信心也有能力適應客戶各種應用場景下的定制化需求。
  02展臺回顧
  惠然科技本次攜F6000-RS亮相北京電子顯微學年會,吸引了大量高校院所、業(yè)界企事業(yè)單位等電子顯微學領域專家學者駐足交流,客戶對拉曼集成技術路線、產(chǎn)品功能以及產(chǎn)品應用場景等方面表達了強烈好奇,惠然科技工程師、銷售人員對其逐一熱情解答,客戶表示希望有機會與惠然展開深度合作。

  
▲展臺現(xiàn)場回顧

  未來,惠然將持續(xù)秉承“探索、包容、創(chuàng)新、成長”的企業(yè)理念,致力于打破科技封鎖,堅持自主正向研發(fā),關注供應鏈國產(chǎn)化率,不斷拓展產(chǎn)品線與應用領域,為客戶帶來更多高端國產(chǎn)場發(fā)射掃描電鏡以及電子束檢測設備。
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